等离子体工艺腔室的多场耦合仿真
张钰如,中共党员,教授,博士生导师,大连理工大学星海骨干,中国博士后基金特别资助获得者。2013年12月,分别获得大连理工大学及比利时安特卫普大学授予的理学双博士学位。2009年起,主要采用自主开发的流体模型、流体/蒙卡混合模型、流体/鞘层混合模型、整体/鞘层混合模型,及COMSOL软件,系统研究容性耦合等离子体放电特性、感性耦合等离子体放电特性、等离子体鞘层特性、电磁效应、等离子体催化中的微放电等,在Applied Catalysis B, Plasma Sources Sci. Technol.及J. Phys. D: Appl. Phys.等国际核心期刊上发表论文50余篇。参与开发并集成出国内首款具有自主知识产权的等离子体源多场耦合仿真平台MAPS,可以实现对多种等离子体源放电过程的模拟,并获得多项发明专利及软件著作权。
活动时间:
2022-09-21 18:00:00
主讲人:张钰如