在半导体芯片制备工艺中,涉及1000多道工序,其中约三分之一要用到含有等离子体的工艺腔室。数值仿真,具有效率高、成本低等优点,常被用于等离子体工艺腔室的研究中。本次讲座简要介绍了在等离子体工艺腔室仿真过程中,常用的模型。